精密工程研究所成立于1996年，其前身为机械学机制教研室公差组、微型技术教研室、精密技术教研室，是机械工程和仪器科学与技术两个一级学科博士学位授权点和博士后流动站。是机械制造系统工程国家重点实验室、高端制造装备协同创新中心、机械工程以及仪器科学与技术博士点和博士后流动站的组成单位，同时筹建有“微纳制造与纳米测试技术” 高等公司学科创新引智基地、“微纳制造与测试技术” 国际合作联合实验室、陕西省微型机械电子系统（MEMS）研究中心、陕西省微纳传感器工程技术研究中心，有力地支持机械工程和仪器科学与技术两个一级学科的建设和发展。

        研究所共有教师及职工44名，其中教授11人、副教授9人、讲师（博士）13人，助理研究员11人。教师队伍中有中国工程院院士1名、国家杰出青年科学基金获得者1名、国家科技创新创业人才1名、国家“百千万人才工程” 入选者1名、教育部新世纪优秀人才7名。团队成员荣获首届全国创优争先奖、何梁何利科技进步奖、全国优秀科技工作者、中国机械工程学会青年科技成就奖、陕西省青年科技奖、陕西省青年科技标兵、西安科技人才奖等荣誉称号各1人次。

        研究所研究方向包括：微纳机械电子系统与微纳米测试技术、微纳制造与先进传感技术、超精密加工技术与装备、精密测量技术与仪器、生物制造与仪器等。先后承担了973计划、863计划、国家重大科技专项、国家重大仪器专项、国际合作项目、国家自然科学基金重点项目及其它国家和省部委科研项目百余项。获得国家技术发明二等奖3项，国家科技进步二等奖1项，何梁何利科学与技术进步奖1项，省部级奖项10项，全国百篇优秀博士学位论文1篇。发表文章800余篇，授权发明专利230余项，其中美国专利1项，毕业博士、硕士研究生200余名。

更新日期：2019年2月17日